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當前位置:首頁產品中心熱銷產品激光共焦顯微鏡OLS5100激光共焦顯微鏡

激光共焦顯微鏡
產品簡介:

激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

產品型號:OLS5100

更新時間:2024-11-16

廠商性質:代理商

訪問量:3302

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產品介紹

激光共焦顯微鏡適用于故障分析和材料工程研究的OLS5100激光顯微鏡將測量精度和光學性能與智能工具相結合,讓顯微鏡更加方便使用。通過快速高效精確測量亞微米級形狀和表面粗糙度的可靠數據簡化您的工作流程。

 激光共焦顯微鏡主機

型號OLS5100-SAFOLS5100-SMFOLS5100-LAFOLS5100-EAF
總倍率

54x–17,280x


視場

16 µm–5,120 µm


測量原理光學系統反射式共焦激光掃描激光顯微鏡
反射式共焦激光掃描激光-DIC顯微鏡
顏色
彩色DIC


光接收元件激光:光電倍增管(2通道)
彩色:CMOS彩色相機

高度測量顯示分辨率0.5 nm

動態范圍16位

重復性σn -1*1 *2 *55X:0.45 μm, 10X:0.1 μm, 20X:0.03 μm, 50X:0.012 μm, 100X:0.012 μm

準確度*1 *3 *50.15 + L / 100μm(L:測量長度[μm])

拼接圖像準確度*1 *3 *510X:5.0+L/100 μm, 20X 或更高倍率1.0+L/100 μm (L: 拼接長度[μm])

測量噪聲(Sq噪聲)*1 *4 *51 nm(典型值)
寬度測量顯示分辨率1 nm

重復性3σn-1  *1 *2 *5 

5X:0.4 μm, 10X:0.2 μm, 20X:0.05 μm, 50X:0.04 μm, 100X:0.02 μm



準確度*1 *3 *5測量值+/- 1.5%

拼接圖像準確度*1 *3 *510X:24+0.5L μm, 20X:15+0.5L μm, 50X:9+0.5L μm, 100X:7+0.5L μm (L:拼接長度[mm])
單次測量時最大測量點數量

4096 × 4096像素


最大測量點數量

3600萬像素


XY載物臺配置長度測量模塊不適用不適用

工作范圍

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 手動

300 × 300 mm (11.8 × 11.8 in.) 電動

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.) 電動


最大樣品高度

100 × 100 mm (3.9 × 3.9 in.)

30 mm (1.2 in.)

30 mm (1.2 in.)

210 mm (8.3 in.)


激光光源波長405 nm

最大輸出0.95 mW

激光等級2級(IEC60825-1:2007,IEC60825-1:2014)
彩色光源白光LED
電氣功率240 W240 W278 W240 W
質量顯微鏡主體約 31 kg約 32 kg約 50 kg約 43 kg

控制箱約 12 kg



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